半導体電子ビーム測定・検査装置専業。上場後、競争激化でＡ＆Ｄ傘下に。研究開発型企業
| 開示年月日 | 決算期 | 種別 | 連個 | 実予 | 売 上 高 | 営業利益 | 経常利益 | 当期利益 | 配当 | 1Q | 2Q | 3Q |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2006/05/11 | 2006/03 | 年度 | 個 | 実 | 974 | ▲152 | ▲143 | ▲260 | 1700 | 0 | 1700 | 0 |
| 2006/05/11 | 2006/09 | 中間 | 個 | 予 | 200 | ▲197 | ▲198 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 2006/11/20 | 2006/09 | 中間 | 個 | 実 | 105 | ▲265 | ▲260 | ▲265 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2006/05/11 | 2007/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,520 | 76 | 74 | 1000 | 0 | 0 | 0 | |
| 2007/05/10 | 2007/03 | 年度 | 個 | 実 | 566 | ▲400 | ▲396 | ▲398 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2007/05/10 | 2007/09 | 中間 | 個 | 予 | 210 | ▲176 | ▲178 | ▲179 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2007/11/22 | 2007/09 | 中間 | 個 | 実 | 106 | ▲181 | ▲180 | ▲386 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2007/05/10 | 2008/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,400 | 57 | 54 | 52 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2008/05/13 | 2008/03 | 年度 | 個 | 実 | 306 | ▲326 | ▲343 | ▲409 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2008/08/12 | 2008/06 | 1Q | 個 | 実 | 37 | ▲86 | ▲85 | ▲87 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2008/05/13 | 2008/09 | 2Q | 個 | 予 | 370 | ▲16 | ▲16 | ▲17 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2008/11/11 | 2008/09 | 2Q | 個 | 実 | 104 | ▲459 | ▲473 | ▲482 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/02/13 | 2008/12 | 3Q | 個 | 実 | 126 | ▲551 | ▲572 | ▲583 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2008/05/13 | 2009/03 | 年度 | 個 | 予 | 870 | 13 | 14 | 12 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/04/01 | 2009/03 | 年度 | 個 | 予 | 158 | ▲629 | ▲651 | ▲664 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/05/12 | 2009/03 | 年度 | 個 | 実 | 158 | ▲639 | ▲661 | ▲673 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/08/11 | 2009/06 | 1Q | 個 | 実 | 202 | ▲48 | ▲45 | ▲45 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/05/12 | 2009/09 | 2Q | 個 | 予 | 557 | 41 | 40 | 36 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/11/09 | 2009/09 | 2Q | 個 | 予 | 585 | 5 | 8 | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/11/10 | 2009/09 | 2Q | 個 | 実 | 585 | 5 | 8 | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/02/09 | 2009/12 | 3Q | 個 | 実 | 844 | ▲72 | ▲70 | ▲72 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2009/05/12 | 2010/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,010 | 38 | 35 | 27 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/04/28 | 2010/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,151 | 30 | 41 | 39 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/05/14 | 2010/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,151 | 30 | 41 | 39 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/08/10 | 2010/06 | 1Q | 個 | 実 | 38 | ▲58 | ▲74 | ▲74 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/05/14 | 2010/09 | 2Q | 個 | 予 | 120 | ▲141 | ▲142 | ▲143 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/11/09 | 2010/09 | 2Q | 個 | 実 | 162 | ▲86 | ▲110 | ▲112 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/02/08 | 2010/12 | 3Q | 個 | 実 | 448 | 36 | 6 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/05/14 | 2011/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,100 | 84 | 81 | 78 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2010/11/09 | 2011/03 | 年度 | 個 | 予 | 838 | 40 | 10 | 8 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/04/28 | 2011/03 | 年度 | 個 | 予 | 538 | ▲11 | ▲40 | ▲37 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/05/10 | 2011/03 | 年度 | 個 | 実 | 538 | ▲11 | ▲40 | ▲37 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/08/02 | 2011/06 | 1Q | 個 | 実 | 40 | ▲73 | ▲70 | ▲71 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/05/10 | 2011/09 | 2Q | 個 | 予 | 148 | ▲112 | ▲114 | ▲115 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/11/08 | 2011/09 | 2Q | 個 | 実 | 378 | ▲31 | ▲35 | ▲36 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/02/10 | 2011/12 | 3Q | 個 | 実 | 415 | ▲136 | ▲140 | ▲142 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2011/05/10 | 2012/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,100 | 92 | 87 | 85 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/04/27 | 2012/03 | 年度 | 個 | 予 | 826 | ▲126 | ▲132 | ▲135 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/05/08 | 2012/03 | 年度 | 個 | 実 | 826 | ▲126 | ▲132 | ▲135 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/08/07 | 2012/06 | 1Q | 個 | 実 | 39 | ▲80 | ▲84 | ▲85 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/05/08 | 2012/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2012/11/13 | 2012/09 | 2Q | 個 | 実 | 334 | ▲138 | ▲144 | ▲99 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/02/12 | 2012/12 | 3Q | 個 | 実 | 695 | ▲104 | ▲104 | ▲60 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2012/05/08 | 2013/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,275 | 173 | 158 | 156 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/02/12 | 2013/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,200 | 50 | 50 | 90 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/05/14 | 2013/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,211 | 60 | 62 | 103 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/08/08 | 2013/06 | 1Q | 個 | 実 | 77 | ▲42 | ▲42 | ▲43 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/05/14 | 2013/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2013/11/12 | 2013/09 | 2Q | 個 | 実 | 573 | 124 | 124 | 113 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/02/10 | 2013/12 | 3Q | 個 | 実 | 995 | 237 | 242 | 222 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2013/05/14 | 2014/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,240 | 135 | 128 | 120 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/02/10 | 2014/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,050 | 160 | 164 | 210 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/05/13 | 2014/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,067 | 152 | 154 | 175 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/08/07 | 2014/06 | 1Q | 個 | 実 | 31 | ▲67 | ▲65 | ▲58 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/05/13 | 2014/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2014/11/11 | 2014/09 | 2Q | 個 | 実 | 905 | 146 | 146 | 143 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/02/10 | 2014/12 | 3Q | 個 | 実 | 978 | 94 | 97 | 101 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2014/05/13 | 2015/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,400 | 180 | 179 | 166 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/02/10 | 2015/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,400 | 180 | 179 | 266 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/05/12 | 2015/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,418 | 157 | 158 | 169 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/08/07 | 2015/06 | 1Q | 個 | 実 | 33 | ▲66 | ▲66 | ▲67 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/05/12 | 2015/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2015/11/10 | 2015/09 | 2Q | 個 | 実 | 494 | 15 | 7 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2016/02/09 | 2015/12 | 3Q | 個 | 実 | 845 | 72 | 64 | 54 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2015/05/12 | 2016/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,530 | 166 | 166 | 144 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2016/05/13 | 2016/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,506 | 200 | 187 | 134 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2016/08/09 | 2016/06 | 1Q | 個 | 実 | 80 | ▲41 | ▲52 | ▲55 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2016/05/13 | 2016/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2016/11/08 | 1900/01 | 2Q | 個 | 実 | 177 | ▲75 | ▲85 | ▲90 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/02/14 | 2016/12 | 3Q | 個 | 実 | 492 | ▲2 | ▲8 | ▲11 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2016/05/13 | 2017/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,550 | 200 | 200 | 170 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/02/14 | 2017/03 | 年度 | 個 | 予 | 900 | 130 | 120 | 85 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/05/12 | 2017/03 | 年度 | 個 | 実 | 959 | 131 | 129 | 109 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/08/10 | 2017/06 | 1Q | 個 | 実 | 35 | ▲89 | ▲93 | ▲93 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/05/12 | 2017/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2017/11/09 | 2017/09 | 2Q | 個 | 実 | 402 | ▲6 | ▲10 | ▲14 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/02/08 | 2017/12 | 3Q | 個 | 実 | 567 | ▲32 | ▲29 | ▲35 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2017/05/12 | 2018/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,200 | 170 | 160 | 130 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/05/11 | 2018/03 | 年度 | 個 | 実 | 1,315 | 121 | 115 | 125 | 5 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/08/10 | 2018/06 | 1Q | 個 | 実 | 1,030 | 369 | 369 | 267 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/05/11 | 2018/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| 2018/11/06 | 2018/09 | 2Q | 個 | 実 | 1,491 | 446 | 447 | 324 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2019/02/07 | 2018/12 | 3Q | 個 | 実 | 2,161 | 536 | 531 | 373 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/05/11 | 2019/03 | 年度 | 個 | 予 | 1,671 | 382 | 377 | 274 | 10 | 0 | 0 | 0 |
| 2018/11/06 | 2019/03 | 年度 | 個 | 予 | 2,702 | 679 | 678 | 476 | 15 | 0 | 0 | 0 |
| 2019/05/10 | 2019/03 | 年度 | 個 | 実 | 2,958 | 811 | 811 | 564 | 15 | 0 | 0 | 0 |
| 2019/08/06 | 2019/06 | 1Q | 個 | 実 | 1,012 | 357 | 348 | 232 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2019/05/10 | 2019/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 10 | 0 | |||
| 2019/11/07 | 2019/09 | 2Q | 個 | 実 | 2,151 | 779 | 768 | 521 | 0 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/02/06 | 2019/12 | 3Q | 連 | 実 | 3,645 | 1,364 | 1,358 | 928 | 0 | 0 | 10 | 0 |
| 2019/05/10 | 2020/03 | 年度 | 個 | 予 | 3,036 | 849 | 843 | 590 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2019/11/07 | 2020/03 | 年度 | 個 | 予 | 3,746 | 1,120 | 1,106 | 754 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/03/23 | 2020/03 | 年度 | 個 | 予 | 4,248 | 1,456 | 1,435 | 971 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/05/12 | 2020/03 | 年度 | 連 | 実 | 4,267 | 1,443 | 1,428 | 968 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/08/06 | 2020/06 | 1Q | 連 | 実 | 1,158 | 418 | 417 | 286 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2020/05/12 | 2020/09 | 2Q | 連 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 10 | 0 | |||
| 2020/11/06 | 2020/09 | 2Q | 個 | 実 | 1,526 | 431 | 401 | 275 | 0 | 0 | 10 | 0 |
| 2021/02/05 | 2020/12 | 3Q | 個 | 実 | 2,278 | 536 | 510 | 351 | 0 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/05/12 | 2021/03 | 年度 | 連 | 予 | 2,500 | 408 | 401 | 276 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2020/11/06 | 2021/03 | 年度 | 個 | 予 | 3,096 | 848 | 816 | 561 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2021/05/11 | 2021/03 | 年度 | 個 | 実 | 3,105 | 611 | 587 | 431 | 20 | 0 | 10 | 0 |
| 2021/05/11 | 2021/09 | 2Q | 個 | 予 | 非開示 | 0 | 0 | 10 | 0 | |||
| 2021/05/11 | 2022/03 | 年度 | 個 | 予 | 3,100 | 461 | 455 | 314 | 20 | 0 | 10 | 0 |
2013/10に株式分割（1→100）
ホロン